중국 반도체 업계 13개 기업 대표가 2030년까지 자급률 80% 달성을 목표로 하는 로드맵을 제안했다. 현재 33%에서 5년 내 2.4배 이상 끌어올려야 하는 도전적 목표다.
핵심은 국산 장비만으로 7nm 생산 라인을 구축하겠다는 것이다. AMEC이 5nm 이하 로직 칩용 에칭 장비를 공개했고, 14nm 공정의 안정 양산도 동시에 추진한다. 다만 리소그래피와 검사 장비에서의 기술 격차는 여전히 크다.
미국 제재로 ASML EUV 장비 수입이 차단된 상황이 역설적으로 국산화 투자를 가속시키고 있다. 33%에서 80%로의 도약이 가능한지는 미지수지만, 중국이 반도체 자립을 국가 전략으로 밀어붙이고 있다는 사실은 분명하다.